停止罗茨真空机组的运转，并进行适当拆卸。使用刷子或清洁剂清洁罗茨叶轮，注意不要让水进入叶轮内部。
使用湿润的布擦拭罗茨外壳，确保污垢和灰尘被清除。清理罗茨真空机组进气口和出气口，确保其通畅无阻。检查并清洁管道系统，确保无堵塞和漏气现象。
检查轴承是否有松动或损坏，并适时添加润滑油。检查密封件是否完好无损，并及时更换任何磨损或老化的密封件。
如果罗茨真空机组采用了磁力偶合装置，注意检查其定位是否准确，并进行校准。按照罗茨真空泵的使用说明书，制定并执行定期保养计划。安装过滤器可以有效防止颗粒和污染物进入。罗茨真空机组应放置在干燥、通风和无尘的环境中。
此外，还可以考虑使用化学清洗物如苛性钠溶液或有机溶剂进行浸洗，然后用水多次冲洗，并将罗茨真空机组零部件用热风吹干或在烘箱中烘干。在进行气动清洗时，需要注意空气压力是否正常，并捕捉和处理清洗后的污水。
